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本书以电阻率测量中广泛使用的探针技术为对象，对电阻率测试中许多理论问题作了深入讨论，如静电场有限元理论、图形变换理论、镜像源理论、互易定理及其证明，为创造新的测试法打下坚实基础。
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| 內容簡介： |
本书以电阻率测量中广泛使用的探针技术为对象，以作者多年的相应测试实践对电阻率测试中许多理论问题作了深入探讨，具体包括：四探针法电阻率测量基本原理、静电场数值计算有限元方法、范德堡法及其改进法电阻率测量基本原理、鲁美采夫斯基法及其改进法电阻率测量基本原理、电阻率Mapping技术、电阻牢测试的EIT技术、外延片的电阻率测试、接触电阻的测量、电阻率测试的测准条件。
本书可供从事传感器与半导体材料相关专业的研究人员和大专院校师生阅读，也可供生产实践的工程技术人员参考。
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| 目錄：
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1 绪论
1.1 电阻率测试对半导体材料与器件的重要
1.2 电阻率测试对工业领域的重要性
1.3 电阻率测试对地质物探领域的莺要性
1.4 电阻率测试对医学领域的重要性
1.4.1 脑中风的检测与监护
1.4.2 肺梗塞的诊断
1.4.3 乳腺肿瘤的诊断
1.4.4 其他应用
2 四探针法电阻率测量基本原理
3 静电场数值计算有限元方法
4 范德堡法及其改进法电阻率测量基本原理
5 鲁美采夫斯基法及其改进法电阻率测量基本原理
6 电阻率Mapping技术
7 电阻率测试的EIT技术
8 外延片的电阻率测试
9 接触电阻的测量
10 电阻率测试的测准条件
参考文献
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