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『簡體書』MEMS/NEMS谐振器技术

書城自編碼: 3912207
分類: 簡體書→大陸圖書→工業技術電子/通信
作 者: 张文明,胡开明
國際書號(ISBN): 9787030757197
出版社: 科学出版社
出版日期: 2023-09-01

頁數/字數: /
書度/開本: 16开 釘裝: 精装

售價:NT$ 1520

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內容簡介:
本书主要介绍微/纳机电系统(MEMS/NEMS)谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章,主要内容包括:MEMS/NEMS技术基础和MEMS/NEMS谐振器技术的发展历程与发展趋势;谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术;谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术;谐振器中存在的丰富非线性现象和复杂动力学行为;微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性、作用机制及测试方法;谐振器中应用的各种振动激励与检测原理及技术;通道式MEMS/NEMS谐振器检测原理、动力学设计与分析技术;微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术;谐振器中存在的典型失效模式与失效机理,以及多种可靠性评估方法和测试技术。

 

 

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