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MEMS法珀腔光学声传感器
作者：郑永秋 出版：电子工业出版社 日期：2023-11-01 MEMS法珀腔光学声传感器是新一代工业及信息技术发展的核心声传感器件。本书系统地论述了MEMS法珀腔光学声传感器的传感机理、法珀腔声敏感结构的优化设计及制备、调相谱检测的声信号解调技术等，还对MEMS ... |
詳情>> | 售價：NT$ 500 
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