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集成电路制造技术
作者:杜中一 著 出版:化学工业出版社 日期:2016-04-01 《集成电路制造技术》全面系统地介绍了集成电路制造技术,内容包括集成电路制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、 ... |
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