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王向朝等
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集成电路与光刻机
作者：王向朝等 出版：科学出版社 日期：2020-08-01 光刻机是集成电路制造的核心装备，直接决定了集成电路的微细化水平。本书介绍了集成电路与光刻机的发展历程；重点介绍了光刻机整机、分系统与曝光光源的主要功能、基本结构、工作原理、关键技术等；简要介绍了计算光 ... |
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高端光刻机像质检测技术（上册）
作者：王向朝等 出版：科学出版社 日期：2021-04-01 光刻机像质检测技术是支撑光刻机整机与分系统满足光刻机分辨率、套刻精度等性能指标要求的关键技术。本书系统地介绍了光刻机像质检测技术。介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，详细介绍了本团队提出的系列新技术， ... |
詳情>> | 售價：NT$ 1438
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高端光刻机像质检测技术（下册）
作者：王向朝，戴凤钊 出版：科学出版社 日期：2021-04-01 光刻机领域的前沿著作，系统性的解说光刻机像质检测技术 1958年，世界上*块集成电路诞生。60多年来集成电路一直按照摩尔定律快速发展，集成度越来越高，单个芯片 ... |
詳情>> | 售價：NT$ 1322
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