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薄膜生长技术 薄膜生长技术
作者:金克新  出版:科学出版社  日期:2023-11-01
本书以作者在西北工业大学物理科学与技术学院的“薄膜物理学”课程讲义为蓝本,参考国内外薄膜物理学经典教材,主要论述薄膜物理与薄膜生长技术的基本内容,系统介绍薄膜的形成与生长、物理化学制备薄膜的原理与方法,包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、离子束镀膜 ...
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售價:NT$ 661

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