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微加工技术工艺原理与实验
作者:陈军、黄展云、张宇、卢星、王冰、陈晖 出版:清华大学出版社 日期:2024-06-01 (1) 内容丰富,体系完整,系统介绍微加工工艺技术原理和实验教学案例,包括微加工工艺技术的基本概念、物理原理、设备组成、工艺实验流程等,理论与实验紧密结合,读者 ... |
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