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薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术
作者：陈吉堃 出版：科学出版社 日期：2021-10-01 低温等离子体被广泛应用于脉冲激光沉积、磁控溅射、等离子体增强化学气相沉积等现代半导体薄膜真空沉积技术中，并承担着薄膜组分物质输运、薄膜形核与生长动力学调控等关键性角色。由于等离子体性质是联系薄膜真空沉 ... |
詳情>> | 售價：NT$ 437 
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