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半导体工艺可靠性 ［中]甘正浩 ［美]黄威森 ［美]刘俊杰
作者：［中]甘正浩 ［美]黄威森 ［美]刘俊杰 出版：机械工业出版社 日期：2024-10-01 1、本书详细描述和分析了半导体器件制造中的可靠性和认定，并讨论了基本的物理和理论。本书涵盖了初始规范定义、测试结构设计、测试结构数据分析，以及工艺的最终认定，是 ... |
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