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內容簡介： 《tio2纳米层壳结构薄膜氧传感器》采用纳米tio2球壳薄膜作为敏感薄膜利用sitio2异质结构的优良电学特性设计pn结衬底电极tio2氧传感器。制备完成的tio2纳米球壳直径在250nm左右，结构完整。能够满足提高被测气体的表面吸附，获得优良的气体灵敏度的结构特点。《tio2纳米层壳结构薄膜氧传感器》讨论了采用mems技术和cmos工艺相结合制作的ti02纳米层壳结构薄膜氧传感器，该传感器可利用异质结构电传输及纳米球壳的纳米效应实现o2检测。 目錄： 第1章?气体传感器研究概述 1.1?半导体气体传感器简介 1.2?宽禁带TiO2纳米半导体材料 1.3?国内外TiO2气体传感器的研究进展 1.4?研究的目的及意义 第2章?薄膜特性分析与Si／TiO2异质结构的能带 2.1?TiO2的晶格结构 2.2?氧传感器的薄膜敏感原理 2.3?薄膜表面空间电场、有效空间电荷层厚度dx的相关计算（一维近似） 2.4?Si和TiO2中载流子统计分布情况及能带结构 2.5?Si／TiO2异质结构的能带图 第3章?TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器结构设计及传输机制 3.1?氧传感器的基本结构 3.2?TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器制作工艺 3.3?宽禁带半导体气体传感器电流传输特性与机制 3.4?TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器电流传输特性与机制 第4章?TiO2纳米层壳结构薄膜的制备 4.1?W-TiO2薄膜的制备与分析 4.2?Pt-TiO2薄膜的制备与分析 4.3?TiO2纳米球壳的制备与分析 4.4?TiO2纳米层壳结构薄膜的TEM与sEM分析 第5章?氧传感器性能的测定与分析 5.1?工作温度对基准电流的影响 5.2?环境湿度对基准电流的影响 5.3?输出曲线的测量 5.4?选择性 5.5?响应一恢复时间 参考文献 后记

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