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內容簡介: |
本书为新能源类专业教学资源库建设配套教材。
本书主要讲述了改良西门子法生产多晶硅的制备原理及生产过程,内容包括三氯氢硅的合成、精馏提纯,三氯氢硅氢还原制备高纯硅,尾气干法回收,硅芯的制备等核心内容,同时对气体的制备与净化、四氯化硅的综合利用与处理、纯水的制备做了详细介绍。本书紧密结合生产实践,注重理论与实践的有机结合。书中配置了二维码,可以即扫即学。
本书可作为本科和高职院校太阳能光伏产业硅材料专业教材,同时也可作为中专、技校和从事多晶硅生产的企业员工的培训教材,还可供相关专业工程技术人员学习参考。
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目錄:
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绪论1
0.1改良西门子法生产多晶硅1
0.2其他多晶硅生产方法4
项目一气体的制备与净化6
任务一气体的制备7
任务二气体净化19
【小结】28
【习题】29
项目二三氯氢硅的合成30
任务一液氯汽化31
任务二氯化氢的合成39
任务三三氯氢硅的合成46
【小结】66
【习题】66
项目三三氯氢硅精馏提纯68
任务一精馏提纯原理及相关计算68
任务二精馏提纯设备95
任务三精馏提纯工艺102
任务四精馏提纯操作104
任务五设备、管道的检修118
任务六故障处理121
【小结】128
【习题】128
项目四三氯氢硅氢还原制备高纯硅130
任务一知识准备130
任务二三氯氢硅氢还原工艺、核心设备结构及操作136
任务三设备、管道保养与维护151
任务四还原工序常见故障判断与处理155
任务五三氯氢硅氢还原工序产品质量要求及控制157
【小结】166
【习题】166
项目五尾气干法回收168
任务一还原尾气干法回收知识准备170
任务二识读还原尾气干法回收工艺流程173
任务三尾气干法回收主要设备174
任务四设备准备及安全检查183
任务五尾气干法回收原辅材料准备185
任务六尾气干法回收关键及核心设备操作187
任务七尾气回收故障处理192
任务八设备、管道保养与维护193
【小结】197
【习题】197
项目六四氯化硅的综合利用与处理199
任务一认识四氯化硅200
任务二四氯化硅氢化回收202
任务三四氯化硅处理的其他技术211
【小结】214
【习题】214
项目七硅芯的制备与腐蚀216
任务一硅芯的制备217
任务二硅芯腐蚀222
【小结】224
【习题】224
项目八纯水的制备225
任务一纯水制备225
任务二超纯水制备238
任务三纯水测量242
【小结】248
【习题】248
参考文献249
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內容試閱:
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本书是在第一版的基础上修订而成。
本次修订以改良西门子法生产多晶硅过程为基础,以完成工作任务为目标,共设置了8个学习性项目、32个学习性工作任务,努力体现现代教育理念和专业特点,突出能力培养。同时,根据几年来使用本教材的院校教师、企业工程技术人员、职业培训教师的意见,对教材相关内容进行了增删和调整:减少工业硅生产内容,增加精馏、还原、尾气回收章节中对设备的维护与管理、设备和系统的操作,细化部分设备结构,增加四氯化硅综合利用内容。
本书修订的依据是以有色金属行业半导体硅材料职业技能鉴定标准为基准,按照教育部最新理念,坚持贴近岗位的基本原则,根据学生的认知规律,按照多晶硅生产的工作过程组织教学内容,设计了以多晶硅生产过程中的成品或半成品制备为载体的学习性项目任务,分别与相应工种岗位的知识、能力、素质要求相吻合,将理论与实践结合在一起,实现教、学、做一体,并强调教材的可读性、易学性、实用性。
修订后的主要内容包括:气体的制备与净化(项目一);三氯氢硅的合成(项目二);三氯氢硅精馏提纯(项目三);三氯氢硅氢还原制备高纯硅(项目四);尾气干法回收(项目五);四氯化硅的综合利用与处理(项目六);硅芯的制备与腐蚀(项目七);纯水的制备(项目八)。
本教材与新能源类专业教学资源库配合使用,资源库有相应的学习资料。本教材配有二维码,可以即扫即学。本教材配套的PPT课件可在www.cipedu.com.cn免费下载使用。
本书主要适用于本科和高职院校硅材料技术相关专业的教学,也可作为其他新能源类相关专业以及职业培训的教材或参考用书。
本书由刘秀琼主编,邓丰、唐正林任副主编,戴裕崴主审。参加编写的人员还有王丽、鲍学东、张舸、黄梅、周雅美、杨莉、舒茜、张东、卢秉伟、叶常琼。在本教材的修订过程中,得到高级工程师尹建华等企业专家和同行的无私支持,审稿老师也提出了许多宝贵意见和建议,在此一并表示感谢!
由于编者水平所限,不完善之处在所难免,敬请读者和同仁们指正,以便今后修订时改正。
编者
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