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| 內容簡介： |
本书从当前微纳零件及微系统的制造需求从发，论述了微纳尺度下力学、热学、光学、电学等的变化特点，进而从加工原理、加工装备、加工工艺等方面系统地阐述了各类微细加工技术的新进展。全书共分为11章，主要包括：微细加工技术概述、微机械与微细加工理论基础、微细切削加工技术、微细电火花加工技术、高能场微细加工技术、生长型微细加工技术、硅微细加工技术、LIGA技术、纳米压印技术、自组装加工技术和扫描探针加工技术。随着科技的进步，所论述的微细加工技术也具备了纳米尺度的加工能力，因此本书中的微细加工也涵盖纳米加工尺度。
本书可作为高等学校机械类及相近学科本科生、研究生用书，也可供相关领域工程技术人员学习和参考。
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| 目錄：
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目 录
第1章 微细加工技术概述……………………………………………………………………1
1.1 微机械及微机电系统 ………………………………………………………………1
1.2 微细加工技术的概念及其特点 ……………………………………………………3
1.3 微细加工技术的分类 ………………………………………………………………5
1.4 微细加工技术的应用 ……………………………………………………………7
第2章 微机械与微细加工理论基础 ……………………………………………………10
2.1 微机械学……………………………………………………………………………10
2.2 微电子学……………………………………………………………………………23
2.3 微光学……………………………………………………………………………26
2.4 分子装配技术………………………………………………………………………28
2.5 微细加工机理总结…………………………………………………………………29
第3章 微细切削加工技术 …………………………………………………………………30
3.1 微细切削加工技术概述……………………………………………………………30
3.2 微细车削加工技术…………………………………………………………………37
3.3 微细铣削加工技术…………………………………………………………………40
3.4 微细钻削加工技术…………………………………………………………………50
3.5 微细冲压加工技术…………………………………………………………………56
3.6 微细磨削加工技术…………………………………………………………………60
3.7 微细磨料水射流加工技术…………………………………………………………64
第4章 微细电火花加工技术 ……………………………………………………………73
4.1 微细电火花加工技术概述与特点………………………………………………73
4.2 微细电火花加工关键技术…………………………………………………………75
4.3 微细电火花成形加工技术…………………………………………………………80
4.4 微细电火花铣削加工技术…………………………………………………………82
4.5 微细电火花线切割加工技术………………………………………………………85
4.6 微细电化学加工技术………………………………………………………………88
第5章 高能场微细加工技术 ………………………………………………………………96
5.1 概 述………………………………………………………………………………96
5.2 电子束微细加工技术………………………………………………………………96
5.3 离子束微细加工技术 …………………………………………………………105
5.4 超快激光束微细加工技术 ……………………………………………………114
5.5 超声波微细加工技术 …………………………………………………………129
第6章 生长型微细加工技术………………………………………………………………135
6.1 概 述 ……………………………………………………………………………135
6.2 真空镀膜技术 ……………………………………………………………………135
6.3 物理气相沉积技术 ………………………………………………………………146
6.4 化学气相沉积技术 ………………………………………………………………166
6.5 典型薄膜的制备 …………………………………………………………………174
6.6 电镀技术 …………………………………………………………………………190
6.7 喷涂技术 …………………………………………………………………………197
6.8 微弧氧化技术 ……………………………………………………………………210
6.9 电火花沉积陶瓷层技术 ………………………………………………………217
第7章 硅微细加工技术……………………………………………………………………220
7.1 概 述 ………………………………………………………………………………220
7.2 光刻技术 …………………………………………………………………………221
7.3 硅掺杂技术 ………………………………………………………………………231
7.4 硅刻蚀技术 ………………………………………………………………………234
第8章 LIGA技术 ………………………………………………………………………239
8.1 LIGA技术概述……………………………………………………………………239
8.2 准LIGA技术概述 ……………………………………………………………240
8.3 LIGA技术的拓展………………………………………………………………241
8.4 LIGA技术在微细三维结构制造中的应用……………………………………247
第9章 纳米压印技术………………………………………………………………………252
9.1 纳米压印技术概述 …………………………………………………………………252
9.2 纳米压印关键工艺………………………………………………………………252
9.3 纳米压印技术分类 ………………………………………………………………257
第10章 自组装加工技术 …………………………………………………………………264
10.1 自组装加工技术概述…………………………………………………………264
10.2 自组装的基本原理、分类及特点……………………………………………264
10.3 典型自组装方法…………………………………………………………………266
10.4 典型自组装微纳结构……………………………………………………………271
第11章 扫描探针加工技术 ………………………………………………………………284
11.1 概 述……………………………………………………………………………284
11.2 扫描隧道显微镜…………………………………………………………………285
11.3 原子力显微镜………………………………………………………………287
11.4 AFM微纳加工技术 …………………………………………………………288
参考文献 …………………………………………………………………………………………294
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