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內容簡介： 阮勇、尤政编著的《硅MEMS工艺与设备基础MEMS与微系统系列微米纳米技术丛书》在第1章首先介绍MEMS器件的硅MEMS基本工艺、器件和新材料，在此基础上，第2章阐述MEMS工艺设计规则与工艺误差，第3章至第8章阐述硅MEMS单项工艺，介绍相关工艺原理与典型设备，第9章分析列举了典型的硅MEMS器件结构的工艺制备，第10章和第11章介绍圆片键合和封装技术，第12章围绕工艺中的参数讨论了检测技术，附录部分对于真空技术、相关药品与安全防护进行总结。本书详细介绍了硅MEMS器件所需的工艺与设备，能够让MEMS研究人员对硅MEMS工艺技术及其主要设备与环境有全面了解。全书主要特色是将工艺原理、设备与实验案例贯通统一考虑，详细讨论典型MEMS器件工艺原理和方法与设备、安全防护、动力系统。各章节工艺的支撑均基于实际46英寸①半自动设备和技术，适合从事MEMS技术研究的工程技术人员参考，使MEMS教学与研究人员能够在设计规划之初将设计与工艺实践结合起来，使MEMS器件的开发高效顺畅：同时力图将MEMS器件研究中困扰的问题，从设备、工艺源头给予解释阐述。本书也可用做高等学校相关专业微机电系统课程教材。

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