登入帳戶　 |　訂單查詢　 |　購物車/收銀台(0)　|　在線留言板　 |　付款方式　 |　聯絡我們　 |　運費計算　 |　幫助中心　|　 加入書簽
	全部範圍 - 圖書 - 　- 中文簡體書(大陸書) - 　- 英文書（原版） - - 音碟 - 　- 音樂 - 　- 影視 - - 雜誌 - 全文 精確	會員登入   新用戶註冊

HOME新書上架暢銷書架好書推介特價區會員書架精選月讀2025年度TOP分類閱讀雜誌

香港／國際用戶

最新/最熱/最齊全的簡體書網

品種：超過100萬種書，正品正价，放心網購，悭钱省心

送貨：速遞 / 物流，時效：出貨後2-4日

新書推薦： 《 战争与人性 》 售價：NT$ 332 《 品格之路 戴维布鲁克斯著《社会动物》《如何了解一个人》作者布鲁克斯经典作品 自我价值 心理学书 》 售價：NT$ 449 《 可怜的东西 》 售價：NT$ 398 《 整理国故：文化运动与考证学风 》 售價：NT$ 551 《 霍布斯的政治科学及其起源 》 售價：NT$ 398 《 百年星辰：寻找现代中国的大师 》 售價：NT$ 500 《 情绪的真相：关于情绪的内在力量 》 售價：NT$ 347 《 偷偷啃月亮 》 售價：NT$ 234

內容簡介： 阮勇、尤政编著的《硅MEMS工艺与设备基础MEMS与微系统系列微米纳米技术丛书》在第1章首先介绍MEMS器件的硅MEMS基本工艺、器件和新材料，在此基础上，第2章阐述MEMS工艺设计规则与工艺误差，第3章至第8章阐述硅MEMS单项工艺，介绍相关工艺原理与典型设备，第9章分析列举了典型的硅MEMS器件结构的工艺制备，第10章和第11章介绍圆片键合和封装技术，第12章围绕工艺中的参数讨论了检测技术，附录部分对于真空技术、相关药品与安全防护进行总结。本书详细介绍了硅MEMS器件所需的工艺与设备，能够让MEMS研究人员对硅MEMS工艺技术及其主要设备与环境有全面了解。全书主要特色是将工艺原理、设备与实验案例贯通统一考虑，详细讨论典型MEMS器件工艺原理和方法与设备、安全防护、动力系统。各章节工艺的支撑均基于实际46英寸①半自动设备和技术，适合从事MEMS技术研究的工程技术人员参考，使MEMS教学与研究人员能够在设计规划之初将设计与工艺实践结合起来，使MEMS器件的开发高效顺畅：同时力图将MEMS器件研究中困扰的问题，从设备、工艺源头给予解释阐述。本书也可用做高等学校相关专业微机电系统课程教材。

書城介紹　 |　合作申請　|　索要書目　 |　新手入門　|　聯絡方式　 |　幫助中心　|　找書說明　 |　送貨方式　|　付款方式	台灣用户　|　香港/海外用户
megBook.com.tw
Copyright (C) 2013 - 2026 （香港）大書城有限公司　All Rights Reserved.