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編輯推薦： 微机电系统技术是一门融合了微电子技术、微机械加工技术、微光学等多种现代信息技术的新兴、交叉学科，它的发展将对21世纪的人类生产和生活方式产生重要影响，并在未来高科技竞争中起到举足轻重的作用。用于实现微机电器件的制造技术起源于微电子和半导体，但是又在微电子和半导体工艺的基础上发展和集成，具备自己独特的特色。国内目前有关MEMS制造技术的专著或者是直接翻译国外著作，或者是脱胎于半导体工艺的相关内容，缺乏真正结合国内MEMS发展条件，结合MEMS工艺实践经验撰写的专门著作。本专著是作者十余年来深入到实验室工艺线积累的大量工艺经验的总结，并融合了微机电系统领域*的研究成果，系统，全面，深入浅出地讲授微制造工艺中涉及到的材料、环境、设备和测试等方面内容。

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