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內容簡介： 本书共6章，重点介绍了谐振式传感器的发展现状、基本工作原理和设计方法；分析了其理论基础和敏感元件特性；对梁式和板式谐振子的振动特性进行了理论和有限元分析。针对静电激励和电容检测式谐振器给出了一种检测和激励电路设计方法，并对所设计的电路进行了实验验证。应用谐振原理设计了谐振式微加速度计，并进行了工艺分析。后，讨论了利用谐振检测原理实现的扫描静电力显微镜并将其应用于试件表面微观形貌测量。本书可作为从事机械、电子和测控等领域的工程研究人员设计和研究传感器的参考资料，也可作为机械、电子和测控等专业的研究生和高年级本科生课外阅读材料。

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