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內容簡介: |
本书是 外首部系 统阐述共路干涉测量体系 的学术著作,详细介绍了 光的电磁波特性等基础理 论,描述了标量衍射理论 、矢量衍射理论及电磁场 衍射的数值计算方法,深 入研究了共路干涉波前模 型及干涉条纹解调技术、 高精度波前检测的共路及 准共路点衍射干涉技术、 基于随机编码混合光栅的 四波前横向剪切干涉术、 同轴和离轴的环形径向剪 切干涉体系及波前重构理 论和算法, 后介绍了一 些目前 外常用的共路 干涉系统,如米勒干涉系 统、4D干涉系统及双焦 干涉体系。
全书内容丰富,从检 测光路到波前重构模型及 应用完整详尽,对共路干 涉技术在高科技领域的研 究应用具有十分重要的意 义,可作为从事精密检测 相关专业的科研人员及高 等院校师生的重要参考书 。
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目錄:
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1光学干涉理论基础
1.1 光的衍射
1.1.1 标量衍射理论
1.1.2 矢量衍射理论
1.1.3 电磁场的数值计算方法
1.2 光的干涉
1.2.1 单色平面波确定光场
1.2.2 空间和时间展宽的随机光场
1.2.3 相干时间与相干区域
1.2.4 随机波动方程
1.2.5 随机场相关的确定信号
1.2.6 van Cittert-Zernike定理
1.3 相位解包裹技术
1.3.1 一维相位解包裹
1.3.2 Goldstein枝切法
1.3.3 基于可靠性排序的路径无关快速相位解包裹技术
1.3.4 差分整平相位解包裹技术
1.4 波前质量评价
1.4.1 Zerhike多项式
1.4.2 Zerhike多项式波面拟合
1.4.3 Zerhike多项式与光学像差的对应关系
参考文献
2点衍射干涉仪
2.1 概述
2.2 光的衍射
2.2.1 点衍射波前质量的仿真分析
2.2.2 针孔衍射仿真的建模与计算
2.2.3 针孔衍射研究进展
2.3 传统点衍射干涉仪
2.3.1 光栅相移点衍射干涉仪
2.3.2 偏振相移点衍射干涉仪
2.3.3 传统相移光纤点衍射干涉仪
2.3.4 斜面光纤点衍射干涉仪
2.3.5 双光纤点衍射干涉仪
2.4 针孔点衍射干涉面形检测系统
2.4.1 高精度点衍射球面干涉检测系统布局
2.4.2 对比度可调的点衍射球面面形检测系统
2.4.3 系统误差分析及消除方法
2.5 点衍射定量相位成像技术
2.5.1 衍射相位显微镜系统布局
2.5.2 点衍射定量相位成像技术的应用
参考文献
3横向剪切干涉测试技术
3.1 横向剪切干涉的基本概念
3.1.1 横向剪切干涉的理论基础
3.1.2 横向剪切干涉的数学模型
3.1.3 波前畸变与干涉图样
3.2 玻璃平板横向剪切干涉法
3.2.1 平板剪切分光法
3.2.2 平板插入剪切法
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