登入帳戶  | 訂單查詢  | 購物車/收銀台(0) | 在線留言板  | 付款方式  | 聯絡我們  | 運費計算  | 幫助中心 |  加入書簽
會員登入   新用戶註冊
HOME新書上架暢銷書架好書推介特價區會員書架精選月讀2024年度TOP分類閱讀雜誌 香港/國際用戶
最新/最熱/最齊全的簡體書網 品種:超過100萬種書,正品正价,放心網購,悭钱省心 送貨:速遞 / 物流,時效:出貨後2-4日

2025年04月出版新書

2025年03月出版新書

2025年02月出版新書

2025年01月出版新書

2024年12月出版新書

2024年11月出版新書

2024年10月出版新書

2024年09月出版新書

2024年08月出版新書

2024年07月出版新書

2024年06月出版新書

2024年05月出版新書

2024年04月出版新書

2024年03月出版新書

『簡體書』微电子制造原理与工艺

書城自編碼: 3585097
分類: 簡體書→大陸圖書→教材研究生/本科/专科教材
作者: 张威
國際書號(ISBN): 9787560390567
出版社: 哈尔滨工业大学出版社
出版日期: 2020-11-01

頁數/字數: /
書度/開本: 16开

售價:NT$ 264

我要買

share:

** 我創建的書架 **
未登入.



新書推薦:
和平的捍卫——世界大局下两岸关系观照
《 和平的捍卫——世界大局下两岸关系观照 》

售價:NT$ 347.0
现代艺术150年——一个未完成的故事(2024版)
《 现代艺术150年——一个未完成的故事(2024版) 》

售價:NT$ 653.0
传承:世代家族的财富管理观
《 传承:世代家族的财富管理观 》

售價:NT$ 714.0
MATLAB入门与应用实践(视频教学版)
《 MATLAB入门与应用实践(视频教学版) 》

售價:NT$ 607.0
再无孤岛:跨学科的逻辑、路径与实践(实现认知跃迁,洞见未来先机,必先构建跨学科思维!)
《 再无孤岛:跨学科的逻辑、路径与实践(实现认知跃迁,洞见未来先机,必先构建跨学科思维!) 》

售價:NT$ 602.0
社会情感学习经典入门
《 社会情感学习经典入门 》

售價:NT$ 357.0
盆底觉醒
《 盆底觉醒 》

售價:NT$ 403.0
作业治疗经典模式及实践应用
《 作业治疗经典模式及实践应用 》

售價:NT$ 500.0

建議一齊購買:

+

NT$ 157
《数值分析(第5版)习题解答》
+

NT$ 297
《大学计算机基础》
+

NT$ 150
《仪器分析实训(第二版)(张威)》
+

NT$ 253
《仪器分析(张威 )(第二版)》
+

NT$ 472
《计算机网络(第8版)》
+

NT$ 192
《实证论文写作八讲》
內容簡介:
本书首先介绍微电子的技术背景、工艺现状以及发展趋势,并阐述作为半导体衬底材料的单晶硅的生长方法及硅片的制作工艺;然后从基本原理和工艺过程两方面,阐述热氧化、热扩散、离子注入、光刻、刻蚀、蒸发、溅射、化学气相淀积、外延等微电子制造单项工艺过程;再以典型互补金属氧化物半导体(CMOS)器件为例,介绍制造完整器件并实现集成电路中各器件间隔离和金属化互连的关键工艺技术以及工艺集成的具体步骤;*后介绍工艺监控及电学测试方法。
本书适合作为普通高等学校电子封装技术、电子科学与技术、微电子技术等专业高年级本科生和研究生的专业课教材,也可作为微电子制造领域及相关专业工程技术人员的参考书。
目錄
目录
第1章 绪论
1.1 微电子制造的基本概念
1.2 微电子制造技术的发展历史
1.3微电子制造技术的发展趋势
1.4本书的内容安排
第2章 硅衬底
2.1 单晶硅特性
2.2 硅片的制备
第3章 氧化与掺杂
3.1 热氧化
3.2热扩散
3.3离子注入
第4章 图形转移
4.1光刻
4.2刻蚀
第5章 薄膜制备
5.1物理气相淀积
5.2化学气相淀积
5.3外延
第6章 工艺集成
6.1 MOS器件简介
6.2 CMOS工艺技术
6.3 CMOS工艺流程
第7章 监控与测试
7.1 工艺监控
7.2 测试技术
文考文献

 

 

書城介紹  | 合作申請 | 索要書目  | 新手入門 | 聯絡方式  | 幫助中心 | 找書說明  | 送貨方式 | 付款方式 台灣用户 | 香港/海外用户
megBook.com.tw
Copyright (C) 2013 - 2025 (香港)大書城有限公司 All Rights Reserved.