《折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用》 - 台灣·大書城 - 张新宇谢长生著 - 国防工业出版社

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『簡體書』折射衍射微光学结构的单步光刻与湿法蚀刻原理与应用

書城自編碼： 3695730
分類：簡體書→大陸圖書→工業技術→一般工业技术
作者：张新宇谢长生著
國際書號(ISBN)： 9787118122848
出版社：国防工业出版社
出版日期： 2021-10-01

頁數/字數： /
書度/開本： 32开釘裝：平装

售價：NT$ 946

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內容簡介：

本书主要针对可见光、红外、太赫兹等谱域的折射与衍射微光学结构，开展新的设计、工艺制作和测试评估方法研究。重点论述了以折射和衍射微光学积分变换为基础，有效出射可见光、红外及太赫兹多谱图像与波前的基础理论和基本方法，建立了基于衍射相位精细构建在设计、仿真、工艺、测试与评估等方面的数据和方法体系。

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