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『簡體書』微电子工艺与装备技术

書城自編碼: 3850852
分類: 簡體書→大陸圖書→教材研究生/本科/专科教材
作者: 夏洋,解婧,陈宝钦
國際書號(ISBN): 9787030751928
出版社: 科学出版社
出版日期: 2023-03-01

頁數/字數: /
釘裝: 平装

售價:NT$ 449

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內容簡介:
本书重点介绍微电子制造工艺技术的基本原理、途径、集成方法与设备。主要内容包括集成电路制造工艺、相关设备、新原理技术及工艺集成。本书力求让学生在了解集成电路制作基本原理与方法的基础上,紧密地联系生产实际,方便地理解这些原本复杂的工艺和流程,从而系统掌握半导体集成电路制造技术。本书内容由浅入深,理论联系实际,突出应用和基本技能的训练,教学仪器及实验室耗材等全部操作均采用案例教学的方式。

 

 

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