登入帳戶　 |　訂單查詢　 |　購物車/收銀台(0)　|　在線留言板　 |　付款方式　 |　聯絡我們　 |　運費計算　 |　幫助中心　|　 加入書簽
	全部範圍 - 圖書 - 　- 中文簡體書(大陸書) - 　- 英文書（原版） - - 音碟 - 　- 音樂 - 　- 影視 - - 雜誌 - 全文 精確	會員登入   新用戶註冊

HOME新書上架暢銷書架好書推介特價區會員書架精選月讀2025年度TOP分類閱讀雜誌

香港／國際用戶

最新/最熱/最齊全的簡體書網

品種：超過100萬種書，正品正价，放心網購，悭钱省心

送貨：速遞 / 物流，時效：出貨後2-4日

新書推薦： 《 愤怒的葡萄（陈宗琛译本；美国版《活着》，一部扎根生活的人间史诗） 》 售價：NT$ 337 《 鲁迅与抗日战争--启蒙与救亡（鲁迅文化基金会丛书） 》 售價：NT$ 398 《 2045：AI改变人类未来的十大趋势（揭示未来二十年超级震撼的科技变革全景图） 》 售價：NT$ 347 《 新知文库精选·骆驼来自何处：外来入侵物种的故事与科学 》 售價：NT$ 352 《 沟通：终身原则（第八版） 》 售價：NT$ 1010 《 小狗心理疗愈日记 史努比陪你找到自我主体性 走出艰难时刻 》 售價：NT$ 214 《 心灵银行 脑科学轻松创造真正的改变 世界级催眠大师约翰卡帕斯送给普通人改写命运的秘密武器 》 售價：NT$ 347 《 被偷走的尊严：美国保守派的失落、耻辱与奋起（三联·哈佛燕京学术丛书） 》 售價：NT$ 398

編輯推薦： 本书是国家科技02重大专项相关课题研究成果。在集成电路制造装备中，静电卡盘作为固定晶圆与控温的核心部件，其静电力的精确测量是确保工艺稳定性和提高芯片良率的关键。本书围绕静电卡盘静电力测量问题，系统构建了涵盖宏观工程应用和微观机理探究的理论与方法体系，从测量原理创新、实验平台研制、仿真方法验证、统一理论框架建立、参数敏感性分析、微纳尺度测量技术运用等方面开展了深入研究。全书融合理论建模、实验测量与数值仿真，为静电卡盘的性能评估和优化设计提供了重要科学依据，部分成果已应用于实际产线，可供集成电路装备及微纳制造领域研发人员参考。 內容簡介： 本书是国家科技02重大专项相关课题研究成果。在集成电路制造装备中，静电卡盘作为固定晶圆与控温的核心部件，其静电力的精确测量是确保工艺稳定性和提高芯片良率的关键。本书围绕静电卡盘静电力测量问题，系统构建了涵盖宏观工程应用和微观机理探究的理论与方法体系，从测量原理创新、实验平台研制、仿真方法验证、统一理论框架建立、参数敏感性分析、微纳尺度测量技术运用等方面开展了深入研究。全书融合理论建模、实验测量与数值仿真，为静电卡盘的性能评估和优化设计提供了重要科学依据，部分成果已应用于实际产线，可供集成电路装备及微纳制造领域研发人员参考。 關於作者： 王珂晟，山东华宇工学院教授、高级工程师，硕士生导师。清华大学工学博士，英国伦敦布鲁内尔大学访问学者。研究领域为集成电路制造装备，担任中国机械工程学会半导体装备分会第一届委员会委员。主持省部级以上项目两项、市厅级项目三项，参与完成国家科技02重大专项等国家级项目四项。第一作者发表论文二十余篇，其中SCI收录四篇。获授权专利一百四十余项，其中发明专利六十余项。参与制定国家标准一部、行业标准两部、地方标准一部。参编图书三部，其中《第三代半导体产业人才发展指南》入选“十四五”国家重点出版物，连续四年担任工业和信息化部《中国集成电路产业人才白皮书》编撰人。获省部级科技成果二等奖一项、市厅级科技成果一等奖两项 目錄： 绪论 第一章 基于牵引提拉法的静电卡盘静电力测量平台 第二章 基于气体背吹法的静电卡盘静电力测量平台 第三章 断电后的静电卡盘残余静电力演变规律理论预测与实验测量 第四章 静电卡盘主要参数对静电力的影响 第五章 静电卡盘静电力仿真分析 第六章 基于AFM相位差分析的微观静电力测量 第七章 基于AFM振幅分析的微观静电力测量 第八章 结论与展望

書城介紹　 |　合作申請　|　索要書目　 |　新手入門　|　聯絡方式　 |　幫助中心　|　找書說明　 |　送貨方式　|　付款方式	台灣用户　|　香港/海外用户
megBook.com.tw
Copyright (C) 2013 - 2026 （香港）大書城有限公司　All Rights Reserved.