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半导体薄膜技术基础
作者：李晓干 出版：电子工业出版社 日期：2018-01-01 本书对当前主要应用的薄膜技术及相关设备进行了深入浅出的介绍，主要包括作为*重要的半导体衬底的硅单晶材料学、薄膜基础知识、PVD技术、CVD技术及其他相关的薄膜加工技术，在对各种技术进行介绍的同时，还对各种技术所应用的设备进行简要介绍。本书提供配套电子课件。本书作为半导体薄膜技术的入门书籍，既有薄膜技术的基本理论介绍，又 ... |
詳情>> | 售價：NT$ 387 
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