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洁净室检测和监测
作者:[英]威廉·比尔·怀特 著 出版:化学工业出版社 日期:2025-03-01 《洁净室检测和监测》全书共分为两部分,第一部分为正文部分,包括绪论,洁净室设计与通风,高效空气过滤器与安装框架,洁净室污染控制和检测标准,风速测量,送风量和排风量的测量,压差测量,过滤器安装后的光度计法检漏,隔离构筑物与气流隔离,洁净室内气流的可视化、自净及通风有效性,光散射空气粒子计数器,按ISO 14644-1以颗 ... |
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